传感器、静电消除器

流量开关

2色显示数字式流量开关 PFM

（）适用于使用CO₂

系列/CAD	设定流量范围 (L/min)
PFM	0.2～10 (0.2～5)
	0.5～25 (0.5～12.5)
	1～50 (1～25)
	2～100 (2～50) ( ) 适用于使用CO₂
特长	空气、N₂、Ar、CO₂。无润滑脂规格。与流量调整阀一体化。小型、轻量、省空间。

流量传感器 PFMV

系列/CAD	设定流量范围 (L/min)
PFMV	0～0.5
	0～1
	0～3
	-0.5～0.5
	-1～1
	-3～3
特长	用于微小工件的吸着确认。重复精度±2%F.S.以下。响应速度5ms以下、耐压500kPa。无润滑脂、对应RoHS。一个监视器可对应全部的量程。

空气用数字式流量开关 PF2A

系列/CAD	设定流量范围 (L/min)
PF2A	1～10
	5～50
	10～100
	20～200
	50～500
	150～3000
	300～6000
	600～12000
特长	显示一体型和分离型两种形式。有开关输出、累计脉冲输出和模拟输出。瞬时流量和累计流量可切换。 IP65

水用数字式流量开关 PF2W

系列/CAD	设定流量范围 (L/min)
PF2W	0.5～4
	2～16
	5～40
	10～100
特长	显示一体型和分离型两种形式。有开关输出、累计脉冲输出和模拟输出。瞬时流量和累计流量可切换。 90℃高温可用。 IP65

纯水・化学液用数字式流量开关 PF2D

系列/CAD	设定流量范围 (L/min)
PF2D	0.4～4
	1.8～20
	4.0～40
特长	主体传感器部：NewPFA，管子：SuperPFA 低发尘、好的置换特性。

4通道流量监控器 PF2□200

系列/CAD	适用传感器		设定流量范围 (L/min)
PF2A200・201	空气用	PF2A5	0.5～10.5
			2.5～52.5
			5～105
			10～210
			25～525
PF2W200・201	水用	PF2W5	0.35～4.50
			1.7～17.0
			3.5～45.0
			7～110
PF2D200・201	纯水・化学液用	PF2D5	0.25～4.50
			1.3～21.0
			2.5～45.0
特长	用一个控制器可对4个流量开关进行流量管理。不同的4个流量范围可连接在1个控制器上。

膜片式流量开关 IFW5

系列/CAD	设定流量范围 (L/min)
IFW5	1～10
	10～20
	20～50
特长	用于冷却设备等的通用断水、减水型继电器。带霓虹灯。

桨叶式流量开关 IF3

系列/CAD	设定流量范围 (L/min)
IF3	14～60
	20～1500
	36～2600
特长	用于冷却设备等的通用断水、减水型继电器。接管口径 3/4, 1 相当IP42、相当IP44。

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